下载一种可变形电极及其应用设备、使用方法的技术资料

文档序号:20165292

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本发明涉及等离子体技术领域,尤其是涉及一种可变形电极及其应用设备、使用方法。该可变形电极包括:电极盘、变形调节件和等离子体传感器;所述变形调节件设置于所述电极盘的第一端面,以使所述电极盘于其直径位置形成若干个变形调节点位;所述等离子体传感器...
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