下载具有良好第三象限性能的SiC MOSFET器件的技术资料

文档序号:20163005

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本发明提供一种具有良好第三象限性能的SiC MOSFET器件,包括:N型衬底、N型外延层、P‑body区、N型积累层、N+接触区、氧化层、侧栅、金属电极、漏极,本发明提出的SiC MOSFET器件可以提升SiC MOSFET第三象限性能,实...
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