下载功率器件及其制备方法的技术资料

文档序号:20162989

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本发明提供一种功率器件,其包括有源区和位于有源区外侧的终端区,包括:第一导电类型的衬底;形成在衬底的上表面的第一导电类型的外延层;位于终端区自所述外延层的上表面向下延伸至所述外延层内的第二导电类型的结终端扩展结;位于终端区形成在外延层的上表...
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