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光电转换装置及其制造方法和包括光电转换装置的设备制造方法及图纸
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下载光电转换装置及其制造方法和包括光电转换装置的设备的技术资料
文档序号:20162964
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公开了光电转换装置及其制造方法和包括光电转换装置的设备。光电转换装置包括:半导体基板,包括光电转换部分;金属含有部分,被设置在半导体基板上;层间绝缘膜,被布置在半导体基板上以覆盖金属含有部分;第一氮化硅层,被布置在光电转换部分上以包括位于层...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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