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本发明公开了一种基于三段式双稳态梁结构的MEMS惯性开关。包括：开关外壳、双稳态机构和开关辅助机构，开关辅助机构和双稳态机构在加速度方向上依次设置在开关外壳内部，开关辅助机构包括弹簧体和第一质量块，双稳态机构包括三段式梁结构和第二质量块，开...
该专利属于中国工程物理研究院电子工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院电子工程研究所授权不得商用。

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