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本发明公开了一种具有单分子灵敏度的化学吸附反应测试系统，包括配气单元、进样和定容单元、吸附反应单元、真空发生单元和系统控制单元。其中，配气单元包括多路进气入口、混合气出口和质量流量计；进样和定容单元包括密封阀、六通阀、压力传感器、定容腔和出...
该专利属于中国工程物理研究院材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院材料研究所授权不得商用。

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