温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种氧氮化硅结合碳化硅蜂窝陶瓷及其制备方法，制备方法为：以硅晶圆切割尾料为原料，采用挤出成型工艺进行成型、通过反应烧结工艺在氮气环境下将尾料中的Si粉氮化生成氧氮化硅，进而制备出氧氮化硅结合碳化硅蜂窝陶瓷。本发明减少了蜂窝陶瓷生产...该专利属于济宁泉达实业有限责任公司;西安交通大学;西安建筑科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过济宁泉达实业有限责任公司;西安交通大学;西安建筑科技大学授权不得商用。