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本发明提供一种微加速度传感器的芯片级封装结构，包括盖板单晶硅圆片、微加速度传感器结构，微加速度传感器结构上的金属引线通过盖板单晶硅圆片的凸点转移到盖板单晶硅圆片上，盖板单晶硅圆片下部的空腔通过圆片对准键与所述微加速度传感器结构形成一个密封的...
该专利属于深圳市奥极医疗科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市奥极医疗科技有限公司授权不得商用。

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