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一种传感器装置制造方法及图纸
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下载一种传感器装置的技术资料
文档序号:20148353
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本实用新型涉及由压力传感器芯片构成,具有较强过载能力的传感器装置,特别是适于质量、重量、压力、触力、脉搏、血压、物体抵触力、磁力抵触微位移、磁致伸缩、磁力检测,精密控制等领域的微机械传感器装置,其中,所述力传递部件至少包括:承力端、弹性元件...
该专利属于许建平所有,仅供学习研究参考,未经过许建平授权不得商用。
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