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本发明提供的一种双螺旋主轴温控系统及其控制方法，涉及设备制造技术领域，包括：双螺旋轴套机构，双螺旋轴套机构包括双螺旋轴套、主轴和安装座；双螺旋轴套的内壁或主轴的外壁沿轴向开设有两个螺旋状的螺旋凹槽，主轴通过安装座密封安装在双螺旋轴套内，两个...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。