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一种过渡金属掺杂的碲化锑合金靶材的制备方法技术
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下载一种过渡金属掺杂的碲化锑合金靶材的制备方法的技术资料
文档序号:20144512
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本发明提供一种过渡金属掺杂的碲化锑合金靶材的制备方法,过渡金属包括Sc,Y,Ti,Cr,Hg,Zn等。本发明中合金靶材的制备方法是:1)将适量合金粉末装入石墨模具,并密封于真空热压炉当中;2)室温下施加70%的目标压强,保压约5分钟后缓慢卸...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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