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石墨烯制造装置制造方法及图纸
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下载石墨烯制造装置的技术资料
文档序号:20141112
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一种石墨烯制造装置,包含反应腔机构、安装于所述反应腔机构的模具机构、包覆设置于所述模具机构且位于所述反应腔机构内的基体膜,及连结于所述模具机构的驱动机构。所述驱动机构能于化学气相沉积石墨烯过程中传动所述模具机构带动所述基体膜相对所述反应腔机...
该专利属于黄国彰所有,仅供学习研究参考,未经过黄国彰授权不得商用。
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