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本发明的一种积木式平板PECVD镀膜系统，包括载板、真空与常压切换模块、高低速过渡模块、工艺模块和自动化升降模块，所述真空与常压切换模块、高低速过渡模块、工艺模块和自动化升降模块之间通过隔离装置连接。本发明的积木式平板PECVD镀膜系统，简...
该专利属于杭州海莱德智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州海莱德智能科技有限公司授权不得商用。

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