下载四氯化锆及四氟化硅的联合制备方法的技术资料

文档序号:20125072

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本发明公开了一种四氯化锆及四氟化硅的联合制备方法,该方法包括以下步骤:将锆英砂与干燥剂混合,向锆英砂与干燥剂的混合物中通入氟化氢,加热,锆英砂中的二氧化硅与氟化氢反应生成四氟化硅气体,得到提纯的锆英砂和干燥剂的混合物以及气相物,气相物包括四...
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