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本发明公开了一种溅射靶材回收方法，包括如下步骤：提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材和与所述靶材连接的背板；采用物理分离方法分离所述除靶材和所述背板，至所述靶材表面无明显背板材料残留；以及采用化学反应分离方法对所述靶材上残留的背板材料进行处理...
该专利属于宁波创润新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波创润新材料有限公司授权不得商用。

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