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研磨装置和研磨操作方法制造方法及图纸
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文档序号:20124118
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本发明提供了一种研磨装置,包括第一转轴、第二转轴、第三转轴,其中,第一转轴上可安装第一研磨轮并在受驱动时带动第一研磨轮旋转,第二转轴上可安装第二研磨轮并在受驱动时带动第二研磨轮旋转,第三转轴上可安装第三研磨轮并在受驱动时带动第三研磨轮旋转。...
该专利属于3M创新有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过3M创新有限公司授权不得商用。
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