下载芯片切割清洗液及该清洗液制作工艺的技术资料

文档序号:20123612

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本发明所涉及一种芯片切割清洗液,包括有表面活性剂,无机清洁剂,有机溶剂,缓蚀剂,偶联剂。当切割刀与芯片接触时,通过高压泵把芯片切割清洗液与纯净水稀释后形成混合液喷淋到切割刀与芯片接触的相交处,该混合液能够均匀扩散到整个芯片表面,将残留于芯片...
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