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本发明提出了一种适用于任意曲面透明介电材料的激光湿法蚀刻方法，具体步骤为：将柔性掩膜贴附于待刻蚀材料背面，所述掩膜表面设有开口，将对激光具有吸收性的液体充满掩膜开口作为吸收薄膜；使激光从材料正面入射，聚焦于待刻蚀材料与吸收薄膜交界面；当待刻...
该专利属于南京理工大学;德国莱布尼兹表面物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学;德国莱布尼兹表面物理研究所授权不得商用。

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