下载一种清洗半导体机台零部件的方法的技术资料

文档序号:20121140

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本发明公开的一种清洗半导体机台零部件的方法,包括如下步骤:(1)配制清洗液;(2)浸泡半导体机台零部件;(3)采用擦擦克林伸入容器内,擦拭经步骤(2)浸泡后的半导体机台零部件;(4)经步骤(3)擦拭处理后,将半导体机台零部件转移到另一个干净...
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