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一种全位移放大式压电尺蠖直线平台制造技术
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文档序号:20117764
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本发明公开了一种全位移放大式压电尺蠖直线平台,其定平台设有滑道,滑道内设有动子,动子包括沿滑道长度方向间隙设置的第一框体和第二框体,第一框体固设于动台面,第一框体和第二框体分别连有第一驱动单元和第二驱动单元;第一驱动单元和第二驱动单元之间牵...
该专利属于宁波大学所有,仅供学习研究参考,未经过宁波大学授权不得商用。
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