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本发明公开了一种智能诊断装置和方法，该智能诊断方法包括：根据预测指标模型对待监测设备的指标进行逐级分解，直至分解到最小单元；获得与各级指标对应的测试数据并存储；建立各级指标之间的实测模型；根据待监测设备的运行状态，预测待监测设备是否会超标，...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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