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本发明用于准直DMD光刻系统的辅助装调结构及其构建方法，属于光学实验辅助结构设备领域，特别涉及到一种用于DMD光刻投影系统的辅助装调结构及其构建方法，包括DMD空间调制器、405nm连续激光光源、管透镜I、半透半反镜、管透镜II、CCD相机...
该专利属于东北师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过东北师范大学授权不得商用。

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