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本发明提供一种硬掩模用组合物及图案形成方法，该硬掩模用组合物包含苄醇(benzyl alcohol)单元与咔唑(carbazole)单元结合而成的芳香族化合物、和溶剂。通过使用硬掩模用组合物，能够形成填隙特性、耐蚀刻性提高了的硬掩模。...
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