下载一种传感器的技术资料

文档序号:20111233

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本发明公开了一种传感器,包括第一衬底以及通过第一间隔部支撑在第一衬底上方的振膜,检测结构包括第一磁体、第二磁体,以及设置在第一磁体、第二磁体形成共同磁场中的磁阻传感器;初始位置时,所述磁阻传感器位于第一磁体的磁场方向与第二磁体的磁场方向相反...
该专利属于歌尔股份有限公司;北京航空航天大学青岛研究院所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔股份有限公司;北京航空航天大学青岛研究院授权不得商用。

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