下载硅片间距转换系统的技术资料

文档序号:20108329

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种硅片间距转换系统,包括机械手组件、水平收载机构和输送组件,所述水平收载机构包括升降组件和连接在所述升降组件上的顶板,所述升降组件可带动所述顶板上升或下降,在所述顶板底部竖直设置有第一侧板和第二侧板,所述第一侧板和第二侧板...
该专利属于苏州映真智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州映真智能科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。