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硅片间距转换系统技术方案
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文档序号:20108329
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本实用新型公开了一种硅片间距转换系统,包括机械手组件、水平收载机构和输送组件,所述水平收载机构包括升降组件和连接在所述升降组件上的顶板,所述升降组件可带动所述顶板上升或下降,在所述顶板底部竖直设置有第一侧板和第二侧板,所述第一侧板和第二侧板...
该专利属于苏州映真智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州映真智能科技有限公司授权不得商用。
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