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一种模组化气体流量标准装置制造方法及图纸
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下载一种模组化气体流量标准装置的技术资料
文档序号:20106272
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本实用新型提供了一种模组化气体流量标准装置,属于检测设备技术领域,包括真空负压风机组、标准源组、标准源扩展组、精密夹表器组、进气消音器组、第一开关阀、第二开关阀和稳压罐,真空负压风机组设置上下两组,上方真空负压风机组左侧固定连接第一排气管连...
该专利属于上海责信智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海责信智能科技有限公司授权不得商用。
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