下载一种基于光谱共焦位移测量技术的小孔内表面三维成像检测系统的技术资料

文档序号:20106133

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本实用新型公开一种基于光谱共焦位移测量技术的小孔内表面三维成像检测系统,包括由白光光源1、光纤耦合器2、光纤滑环3、90度出光色散物镜4、光谱仪5组成的可旋转式90度出光光谱共焦位移测量系统,由直线位移平台控制器6、直线位移平台7、旋转平台...
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