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本实用新型公开一种光纤干涉式小孔内表面三维成像检测系统，实现对小孔内表面形貌精确三维成像及孔径、孔光洁度、孔圆度信息的高精度测量。包括由激光光纤干涉单元1、微型90度出光光学系统2、导电滑环3、干涉信号处理单元4组成的可旋转式90度出光激光...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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