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一种片上光学干涉式角速度传感模块制造技术
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文档序号:20093607
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本发明公开了一种片上光学干涉式角速度传感模块,包括分束模块,用于将输入光束等功率分束,模式转换模块,用于将输入的相向传输的两光束的其中一束由基横电模TE0转化为一阶横电模TE1,并在通过传感波导线圈之后再由TE1模式转化为TE0模式输出,而...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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