下载一种非均匀膜层产品镀膜设备的控制系统及方法的技术资料

文档序号:20089700

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本发明公开了一种非均匀膜层产品的镀膜控制系统,包括上位机、PLC控制主机、信息采集装置、电机伺服控制器和溅射阴极电源控制器;信息采集装置用于检测玻璃基材在传送辊道上的位置、工艺腔内的温度和气压信息,PLC控制主机用于接收信号采集装置发送的检...
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