下载一种用于丝锥表面制备TiCN涂层的方法的技术资料

文档序号:20089689

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本发明公开了一种用于丝锥表面制备TiCN涂层的方法,将高速钢制成的丝锥经预处理后,放入电弧离子镀膜设备中的转架杆上,以Ti靶作为制备TiCN涂层的Ti元素来源,通过电弧电源的电流控制Ti靶的溅射率;采用高纯Ar作为主要离化气体,采用高纯N2...
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