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一种用于硬质合金旋转锉表面制备TiAlSiN涂层的方法技术
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下载一种用于硬质合金旋转锉表面制备TiAlSiN涂层的方法的技术资料
文档序号:20089688
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本发明公开了一种用于硬质合金旋转锉表面制备TiAlSiN涂层的方法,将硬质合金制成的旋转锉预处理后放入电弧离子镀膜设备中的转架杆上,以TiAlSi合金靶作为涂层中Ti、Al、Si元素来源,通过电弧电源的电流控制靶的溅射率;采用Ti靶作为制备...
该专利属于西安浩元航空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安浩元航空科技有限公司授权不得商用。
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