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本发明涉及一种具有气体净化系统的高洁净型镀膜机，包括真空镀膜机、用来给真空镀膜机中镀膜室抽真空的真空泵、与真空镀膜机中镀膜室相连通的进气阀，真空镀膜机的外部设置有用来净化输送到真空镀膜机中镀膜室的气体净化系统。所述具有气体净化系统的高洁净型...
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