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本发明涉及一种蒸镀系统及蒸镀及掩膜板清洗方法，所述蒸镀系统包括第一蒸镀模块、第二蒸镀模块和清洗模块，其中，第一蒸镀模块包括第一掩膜板、第一对位室、有机蒸镀室和第一分离平台；第二蒸镀模块包括第二掩膜板、第二对位室、金属蒸镀室和第二分离平台；清...
该专利属于黄建宁所有，仅供学习研究参考，未经过黄建宁授权不得商用。

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