下载掩膜板对位系统、方法及装置的技术资料

文档序号:20089672

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本申请提供一种掩膜板对位系统、方法及装置。所述系统包括发光设备、图像采集设备、数据处理设备及对位调整设备;掩膜板设置在发光设备的光线传输路径上,其中掩膜板上开设有对位孔缝;图像采集设备用于实时采集由发光设备发出的光线穿过对位孔缝时所形成的衍...
该专利属于江苏集萃有机光电技术研究所有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏集萃有机光电技术研究所有限公司授权不得商用。

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