下载电荷产生元件以及微粒数检测器的技术资料

文档序号:20084146

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电荷产生元件(20)是利用气体中放电而产生电荷的元件。该电荷产生元件(20)具备:电介质层(22);放电电极(26),其设置于电介质层(22)的一个表面;感应电极(30),其设置于电介质层(22)的另一个表面;以及喷嘴(24),其以贯穿电介...
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