下载场效应晶体管结构及其制作方法的技术资料

文档序号:20084027

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本发明实施例公开了一种场效应晶体管结构及其制作方法,该场效应晶体管结构包括:底栅电极;底栅介质层;纳米条带沟道层,所述纳米条带沟道层是由多个平行间隔开的双层石墨烯纳米条带构成,所述纳米条带沟道层覆盖于所述底栅介质层的上表面,且与所述底栅介质...
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