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一种基于场板和复合势垒层的GaN基肖特基势垒二极管制造技术
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下载一种基于场板和复合势垒层的GaN基肖特基势垒二极管的技术资料
文档序号:20078851
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本发明涉及一种基于场板和复合势垒层的GaN基肖特基势垒二极管,包括衬底、位于衬底上的缓冲层和位于缓冲层上的沟道层;位于沟道层上的复合势垒层,包括第一势垒层、第二势垒层和第三势垒层;位于第一势垒层上的阴极;位于第二势垒层上的复合阳极,包括阳极...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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