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一种横向MOSFET器件及其制备方法技术
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文档序号:20078838
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一种横向MOSFET器件,属于功率半导体器件技术领域。本发明通过挖槽填充将传统横向MOSFET器件结构中接触区及其下方部分区域替换为多晶硅区或肖特基接触金属区,用以形成具有整流特性的异质结或者肖特基接触,由于异质结或者肖特基接触为多子器件且...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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