下载芯片的快速柔性制造系统的技术资料

文档序号:20078712

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本发明涉及工业自动化装备,更具体地说,涉及一种用于芯片的自动化输送和存储装置。芯片的快速柔性制造系统,包括:工作台、固连于所述工作台上的下模具、用于推动芯片毛坯上升运动的芯片上升送料机构、用于从所述芯片上升送料机构上抓取到芯片毛坯并将其放置...
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