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本发明公开一种高均匀性毛细管阵列气体吸附装置，包括气体室，气体室的底部中心处连通有竖直分布并与外部气路连接的进气管道，气体室的内底部螺纹连接有与进气管道相对应的蝶形塞，进气管道上设有采用VCR垫片中心激光打孔形成微米级别的VCR微孔，气体室...
该专利属于中国工程物理研究院材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院材料研究所授权不得商用。

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