下载一种SI测试探台装置的技术资料

文档序号:20072947

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本发明公开了一种SI测试探台装置,包括:底座;第一探针;第一调节机构,连接在所述底座与所述第一探针之间,以用于调节所述第一探针与所述底座的竖直方向上的相对位置;压力传感器,用于检测所述第一探针探头压力值。在该SI测试探台装置中,通过第一调节...
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