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本发明公开一种悬臂式微加速度传感器自悬浮封装结构，该结构包括磁铁、上铋块、上端盖、敏感结构、下端盖、下铋块以及敏感结构磁铁，敏感结构磁铁粘贴在敏感结构的下端面上，敏感结构与上端盖和下端盖键合并通过4个螺钉与磁铁、上铋块和下铋块连接。本发明公...
该专利属于太原理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过太原理工大学授权不得商用。

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