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本实用新型提供环形单晶无机非金属部件的制作设备及飞轮，其中制作设备包括：制备容器、基体和基体控制组件；制备容器包括微波室和等离子室，微波室与等离子室隔离，微波室内设置有微波发生器，等离子室设置有进气口和真空装置，真空装置用于将等离子室抽真空...
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