下载一种低温等离子设备的技术资料

文档序号:20056621

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本实用新型公开了一种低温等离子设备,包括机架、设在机架上的电场发生装置,电场发生装置包括两块平行设置在机架内的不锈钢钢板、两端通过不锈钢钢板固定的低温等离子阳极反应管、悬空设置在低温等离子阳极反应管内的阴极针,阴极针的一端设有与不锈钢钢板平...
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