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本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种用于PECVD自动化上下石墨舟的装置，包括底座、门形架、左机械臂和右机械臂，门形架固定设置在底座上，左机械臂可上下滑动的设置在门形架的左外侧，右机械臂可上下滑动的设置在门形架的右外侧，门...
该专利属于常州亿晶光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州亿晶光电科技有限公司授权不得商用。

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