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本发明涉及光学薄膜制备技术领域，具体涉及一种五通道多色滤光片的光学膜层制备方法，先对真空室和基底进行清洗，然后将基地放入真空室内抽真空，待基底加热至200℃后采用离子束轰击清洗基底，再用电子枪蒸发法分别在基底的一侧逐层交替沉积氧化钛膜层和二...
该专利属于无锡泓瑞航天科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡泓瑞航天科技有限公司授权不得商用。

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