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基于纳米复制成型的柔性光子晶体传感器及制备方法技术
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下载基于纳米复制成型的柔性光子晶体传感器及制备方法的技术资料
文档序号:20043668
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本发明属于光电器件技术领域,并具体公开了基于纳米复制成型的柔性光子晶体传感器及制备方法,所述方法包括,S1、制备光子晶体光栅模板;S2、硅模板光栅表面处理;S3、柔性光栅基底成型;S4、柔性光栅基底剥离;S5、沉积高折射率材料层,形成柔性可...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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