下载一种温度自补偿、宽量程的柔性无线无源声表面波压强传感器的技术资料

文档序号:20042419

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本发明公开了一种温度自补偿、宽量程的柔性无线无源声表面波压强传感器,包括作为压电层的铌酸锂单晶压电薄膜;形成在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的至少一个声表面波传感单元,每个声表面波传感单元包括形成在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的单端谐振器、与所述单端...
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