下载一种提高波前测量和校正精度的装置及其使用方法的技术资料

文档序号:20042368

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本发明涉及一种提高波前测量和校正精度的装置及其使用方法,属于激光系统光束质量控制技术领域,所述装置包括波前传感器、变形镜、控制器、缩束系统、分光镜和反射镜,待校正的入射激光束经分光镜后透射至变形镜,经变形镜反射回的入射激光束经分光镜后分为取...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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